Reagente sililante, não um agente de acoplamento nem um reticulante. Reage com hidroxila e outros grupos de hidrogênio ativo para instalar grupos protetores trimetilsilila, liberando amônia. Usado para tornar hidrofóbicas a sílica pirogênica e outras cargas minerais, e como primer de adesão em fotolitografia de semicondutores.
